Fonte de alimentação RF série RHH

Imagem em destaque da fonte de alimentação RF da série RHH

Descrição curta:

A fonte de alimentação RF da série RHH conta com tecnologia de geração de RF avançada para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação RF com maior potência, maior precisão e resposta rápida. Possui ajuste de fase, controle de pulso, sintonia digital e outras funções. Campos de aplicação: indústria fotovoltaica, indústria de telas planas, indústria de semicondutores, indústria química, laboratórios, pesquisa científica, manufatura, etc.
Processos aplicáveis: deposição química de vapor aprimorada por plasma (PECVD), gravação de plasma, limpeza de plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica de polimerização de plasma, pulverização catódica reativa, etc.

Detalhes do produto

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Características

● Estilos de meio tijolo e montagem em rack
● Adote o controle digital completo, com menu de operação conveniente e rico
● Funções de sintonia de frequência, pulso e sincronização de pulso
● Com função de sincronização de fase CEX
● Função de proteção perfeita

Detalhes do produto

Entrada	Tensão de entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (especificações especiais podem ser personalizadas)
Entrada	Frequência de entrada: 47~63Hz
Saída	Frequência de saída: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Faixa de ajuste: ±5%
	Potência de saída: 1,5~5kW
	Faixa de regulação da potência de saída: 1~100%
	Impedância de saída: 50Ω+j0
	Interface de saída: tipo N
	Modo de saída: contínuo, pulso
	Frequência de pulso: 100Hz~100kHz
	Ciclo de trabalho: 5~95%
Índice de desempenho	Fator de potência: 0,98
	Precisão de estabilidade de frequência: ±0,005%
	Eficiência: 75% (na saída nominal)
	Harmônico: ＜-45dBc
	Disperso: ＜-50dBc
	Interface de controle externo: grandeza analógica, comunicação e sincronização
	Modo de comunicação: Interface de comunicação RS485 padrão; Ether CAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Observação: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.