Fonte de alimentação de pulverização catódica

Imagem em destaque da fonte de alimentação sputtering

Pequena descrição:

A fonte de alimentação de pulverização catódica CC da série MSD adota o sistema de controle CC principal da empresa combinado com um excelente esquema de processamento de arco, de modo que o produto tenha desempenho muito estável, alta confiabilidade do produto, pequenos danos de arco e boa repetibilidade do processo.Adote interface de exibição em chinês e inglês, fácil de operar.

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Características

● Instalação em rack

● Resposta rápida do arco, tempo de resposta <100ns

● Armazenamento de energia inferior, <1mJ/kW

● Estrutura de instalação compacta, chassi padrão 3U

● Interface de exibição em chinês/inglês, fácil de operar

● Controle preciso

● Ampla gama de resultados

● Função de proteção perfeita

Detalhes do produto

Entrada	Tensão de entrada: 3AC380V±10%
Entrada	Potência: 20 kW, 30 kW Frequência de potência de entrada: 50Hz/60Hz
Saída	Máx.tensão de saída: 800V
	Máx.corrente de saída: 50A、75A
	Ondulação da corrente de saída: ≤3% rms
	Ondulação da tensão de saída: ≤2% rms
Índice técnico	Tensão de ignição: 1000V / 1200V opcional
	Eficiência de conversão: 95%
	Tempo de desligamento do arco: <100ns
	Interface de comunicação: Padrão RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet e EtherCAT são opcionais)
	Dimensão (ALP) mm: 132482560: 176482700
	Modo de resfriamento: resfriamento de ar
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar.Esta descrição do parâmetro é apenas para referência.