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Combinadores da Série RMA

Pequena descrição:

Ele pode ser adaptado à fonte de alimentação RF da série RLS e é amplamente utilizado em gravação de plasma, revestimento, limpeza de plasma, degomagem de plasma e outros processos.Quando usado sozinho, pode ser usado em conjunto com fontes de alimentação RF de outros fabricantes.


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Características

● Controle totalmente digital, alta precisão de correspondência e curto tempo de correspondência

● Adote capacitor de vácuo, alta confiabilidade e longa vida útil

● Estrutura compacta, tamanho pequeno, fácil instalação

● Gama de correspondência ultra-ampla, que pode ser personalizada para se adaptar a qualquer carga

● Com função de correspondência manual/automática

● Com função hold e preset

● Com função de comunicação, ele pode ser conectado de forma independente ao computador host para exibir o status da carga em tempo real

● Interface de saída personalizável

Detalhes do produto

Índice técnico Tensão de controle: AC220V±10%
Potência de transmissão: 0,5 ~ 5kW
Frequência: 2 MHz, 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Tempo de correspondência: ponta a ponta <5S, ponto predefinido para ponto de correspondência <0,5 ~ 3S
Onda estacionária: <1,2
Parte real de impedância: 5~200Ω
Parte imaginária de impedância: +200~-200j
Tensão de saída de RF: 4000Vpico
Corrente de saída de RF: 25~40Arms
Interface de entrada: tipo N
Interface de saída: barra de cobre ou L29
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar.Esta descrição do parâmetro é apenas para referência.


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