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Combinadores da série RMA

Descrição curta:

Adaptável à fonte de alimentação RF da série RLS, é amplamente utilizado em processos de gravação a plasma, revestimento, limpeza a plasma, degomagem a plasma e outros. Quando usado sozinho, pode ser utilizado em conjunto com fontes de alimentação RF de outros fabricantes.


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Características

● Controle totalmente digital, alta precisão de correspondência e tempo de correspondência curto

● Adota capacitor de vácuo, alta confiabilidade e longa vida útil

● Estrutura compacta, tamanho pequeno, fácil instalação

● Faixa de correspondência ultra-ampla, pode ser personalizada para se adaptar a qualquer carga

● Com função de correspondência manual/automática

● Com função de retenção e predefinição

● Com função de comunicação, pode ser conectado independentemente ao computador host para exibir o status da carga em tempo real

● Interface de saída personalizável

Detalhes do produto

Índice técnico Tensão de controle: AC220V±10%
Potência de transmissão: 0,5~5kW
Frequência: 2MHz, 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
Tempo de correspondência: ponta a ponta < 5S, ponto predefinido para ponto de correspondência < 0,5 ~ 3S
Onda estacionária: <1,2
Impedância da parte real: 5~200Ω
Impedância da parte imaginária: +200~-200j
Tensão de saída de RF: 4000 Vpico
Corrente de saída de RF: 25~40Arms
Interface de entrada: tipo N
Interface de saída: barra de cobre ou L29
Observação: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.


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