Fonte de alimentação RF
-
Fonte de alimentação RF Série RLS
A fonte de alimentação RF da série RLS adota o amplificador de potência atual estável e confiável e o sistema de controle DC principal da empresa, para que o produto tenha desempenho muito estável e alta confiabilidade do produto.Adote interface de exibição em chinês e inglês, fácil de operar.Usado principalmente na indústria fotovoltaica, indústria de tela plana, indústria de semicondutores, indústria química, laboratório, pesquisa científica, fabricação, etc.
-
Combinadores da Série RMA
Ele pode ser adaptado à fonte de alimentação RF da série RLS e é amplamente utilizado em gravação de plasma, revestimento, limpeza de plasma, degomagem de plasma e outros processos.Quando usado sozinho, pode ser usado em conjunto com fontes de alimentação RF de outros fabricantes.
-
Fonte de alimentação RF série RHH
A fonte de alimentação RF da série RHH depende de tecnologia madura de geração de RF para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação RF com maior potência, maior precisão e resposta rápida.Com fase pode ser definida, pulso controlável, sintonia digital e outras funções.Campos aplicáveis: indústria fotovoltaica, indústria de tela plana, indústria de semicondutores, indústria química, laboratório, pesquisa científica, fabricação, etc.
Processos aplicáveis: deposição química de vapor aprimorada por plasma (PECVD), gravação de plasma, limpeza de plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica de polimerização de plasma, pulverização catódica reativa, etc.