Fonte de alimentação de pulverização catódica de média frequência série MSB

Pequena descrição:

A série MSB conta com sua excelente tecnologia de modulação de forma de onda para produzir CC, pulso CC, onda quadrada bidirecional, onda trapezoidal bidirecional e outras formas de onda.O produto possui forma de onda de saída ajustável, frequência de saída selecionável, ciclo de trabalho ajustável e controle de potência preciso.Bem como armazenamento de baixa energia e resposta rápida do arco.Fornece controle conveniente e preciso para o processo de revestimento.Os produtos são usados principalmente em vários processos de fabricação de filmes finos, indústria de células solares e indústria de revestimento a vácuo;processos de aplicação: processo de pulverização catódica por magnetron, pulverização catódica de alvo duplo e PECVD tubular.

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Características

Instalação de rack
Resposta rápida do arco, tempo de resposta<100ns
Armazenamento de baixa energia, <0,5mJ/KW
Tecnologia PFC intercalada multifásica, o fator de potência é tão alto quanto 0,95
Vários modos de saída, modos contínuos e intermitentes podem ser selecionados
O circuito inversor adota tecnologia de comutação totalmente suave e usa o semicondutor SiC de terceira geração como dispositivo de energia, com excelente eficiência
Detecção precisa de arco, vários métodos de monitoramento disponíveis