Fonte de alimentação de pulverização catódica de média frequência série MSB

Fonte de alimentação de pulverização catódica de média frequência da série MSB Imagem em destaque

Pequena descrição:

A fonte de alimentação RF da série RHH depende de tecnologia madura de geração de RF para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação RF com maior potência, maior precisão e resposta rápida.Com fase pode ser definida, pulso controlável, sintonia digital e outras funções.Campos aplicáveis: indústria fotovoltaica, indústria de tela plana, indústria de semicondutores, indústria química, laboratório, pesquisa científica, fabricação, etc.

Processos aplicáveis: deposição química de vapor aprimorada por plasma (PECVD), gravação de plasma, limpeza de plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica de polimerização de plasma, pulverização catódica reativa, etc.

Detalhes do produto

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Características

● Estilos de montagem em rack e meio tijolo

● Adote controle totalmente digital, com menu de operação conveniente e rico

● Funções de sintonia de frequência, pulso e sincronização de pulso

● Com função de sincronização de fase CEX

● Função de proteção perfeita

Detalhes do produto

Entrada	Tensão de entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Especificações especiais podem ser personalizadas)
Entrada	Frequência de entrada: 47 ~ 63 Hz
Saída	Frequência de saída: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Faixa de sintonia: ± 5%
	Potência de saída: 1,5 ~ 5 kW
	Faixa de regulação da potência de saída: 1 ~ 100%
	Impedância de saída: 50Ω+j0
	Interface de saída: tipo N
	Modo de saída: contínuo, pulso
	Frequência de pulso: 100 Hz ~ 100 kHz
	Ciclo de trabalho: 5~95%
Índice de Performance	Fator de potência: 0,98
	Precisão de estabilidade de frequência: ± 0,005%
	Eficiência: 75% (na produção nominal)
	Harmônico: <-45dBc
	Vadio: <-50dBc
	Interface de controle externo: quantidade analógica, comunicação e sincronização
	Modo de comunicação: Interface de comunicação RS485 padrão;Ether CAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar.Esta descrição do parâmetro é apenas para referência.