Fonte de alimentação de pulverização catódica de média frequência série MSB
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Fonte de alimentação de pulverização catódica de média frequência série MSB
A fonte de alimentação RF da série RHH depende de tecnologia madura de geração de RF para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação RF com maior potência, maior precisão e resposta rápida.Com fase pode ser definida, pulso controlável, sintonia digital e outras funções.Campos aplicáveis: indústria fotovoltaica, indústria de tela plana, indústria de semicondutores, indústria química, laboratório, pesquisa científica, fabricação, etc.
Processos aplicáveis: deposição química de vapor aprimorada por plasma (PECVD), gravação de plasma, limpeza de plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica de polimerização de plasma, pulverização catódica reativa, etc.